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Vakuum- und Dünnschichtphysik - Einzelansicht

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Grunddaten
Veranstaltungsart Vorlesung Langtext
Veranstaltungsnummer 89936 Kurztext
Semester WS 2019 SWS 2
Teilnehmer 1. Platzvergabe 25 Max. Teilnehmer 2. Platzvergabe 30
Rhythmus Jedes 2. Semester Studienjahr
Credits für IB und SPZ
E-Learning-Plattform
Hyperlink
Sprache Deutsch
Belegungsfrist Standardbelegung Wintersemestersemester 2019/20 ab dem 19.08.2019
Abmeldefristen A1 - Belegung ohne Abmeldung    19.08.2019 09:00:00 - 07.10.2019 07:59:59   
Nach Zulassung ist eine Abmeldung nur durch den Dozenten möglich.
A2 - Belegung mit Abmeldung 2 Wochen    07.10.2019 08:00:00 - 28.10.2019 23:59:59   
Nach Zulassung ist eine Abmeldung auch durch den Teilnehmer möglich.
A3 - Belegung ohne Abmeldung    29.10.2019 00:00:01 - 17.02.2020 07:59:59    aktuell
Nach Zulassung ist eine Abmeldung nur durch den Dozenten möglich.
Termine Gruppe: 0-Gruppe iCalendar Export für Outlook
  Tag Zeit Rhythmus Dauer Raum Lehrperson (Zuständigkeit) Status Bemerkung fällt aus am Max. Teilnehmer 2. Platzvergabe
Einzeltermine anzeigen Mi. 08:00 bis 10:00 w. 16.10.2019 bis
05.02.2020
Max-Wien-Platz 1 - SR 3 Physik      
Gruppe 0-Gruppe:



Zugeordnete Person
Zugeordnete Person Zuständigkeit
Szeghalmi, Adriana Viorica verantwortlich
Module / Prüfungen
Modul Prüfungsnummer Titel VE.Nr. Veranstaltungseinheit
PAFMF007 Vakuum- und Dünnschichtphysik
P-Nr. : 114171 Vakuum- und Dünnschichtphysik: mündl. Prüfung
114173 Vakuum- und Dünnschichtphysik: Vorlesung/Übung
Zuordnung zu Einrichtungen
Physikalisch-Astronomische Fakultät
Inhalt
Literatur

W. Pupp, H. K. Hartmann, `Vakuumtechnik, Grundlagen und An-wendungenA, Hanser-Verlag, München, 1991.
C. Edelmann, `VakuumphysikA, Spektrum, Berlin, 1998.
R. Haefer, `Oberflächen-und Dünnschicht-TechnologieA, Sprin-ger, Berlin, 1987.
J.E. Mahan, `Physical vapor deposition of thin filmsA, John Wiley, New York, 2000.
J.A. Venables, `Introduction to surface and thin film processesA, Cambridge University Press, Cambridge, 2000.

Leistungsnachweis

mündliche Prüfung 30 min

Lerninhalte

- Grundlagen der Vakuumphysik und deren Anwendung in Beschichtungsanlagen
- Übersicht der Dünnschichtabscheidungsverfahren
- Physik der Schichtbildungsprozesse und des Schicht-wachstums
- Struktur-Eigenschaftsbeziehungen und mechanische Ei-genschaften

Zielgruppe

Wahlpflichtmodul Diplom Physik, Bachelor Physik, Master Physik, Lehramt, Bachelor Werkstoffwissenschaften, Master Werkstoff-wissenschaften

Strukturbaum
Die Veranstaltung wurde 1 mal im Vorlesungsverzeichnis WiSe 2019/20 gefunden:

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