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Ausstattung
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Bedampfungstechnik
Sputtertechnik
Diffusionsverfahren
Foto- und Elektronenstrahllithografie
Trockenätzverfahren
Raster-Elektronenstrahlmikroskopie
Oberflächenprofilometrie
Atomic-Force-Microscopy
Optische Messtechnik (Spektroskopie, Interferometrie)
Kurzzeitmesstechnik
Laserlichtquellen (UV-IR)
Laserbearbeitungsstationen
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Stichworte
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Integrierte Optik * Photonik * Mikrooptik * Mikrostrukturierung * Sensorik * Dünnschichttechnologie * Lasertechnik * Ultraschnelle Optik *OPTOMATRONIK
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Kooperation
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Design- und Verfahrensentwicklung, Applikationsberatung
Maskenherstellung und Direktstrukturierung im Bauelementeprozess
Bearbeitung von Messaufgaben
Entwicklung und Herstellung von Demonstratoren kundenspezifischer und mikrooptischer und integriert-optischer Bauelemente für Informationstechnik und Sensorik
Lasermaterialbearbeitung (Materialien: organische und anorganische Werkstoffe)
Schulungsveranstaltungen und Präsentationen zu oben genannten Forschungsaktivitäten
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Forschungstätigkeit
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Lineare und nichtlineare integrierte Optik/Photonik (Grundlagen der Wellenausbreitung und des
opto-optischen Schaltens; Physik und Technik der Bauelementeherstellung; Materialien: LiNbO3,
KTP, Glas, Silizium, Polymere)
Refraktive und diffraktive mikrooptische Komponenten und Prinziplösungen sowie synthetische
Hologramme, photonische Kristalle (Physik und Technik der Herstellung und Charakterisierung)
Strukturierung im Mikro- und Submikrometerbereich (planare und dreidimensional profilierte
Bauelemente, Teststrukturen auf unterschiedlichsten Materialien; Elektronenstrahllithografie,
Fotolithografie, isotrope und anisotrope Ätztechniken)
Laserentwicklung und -anwendung (Grundlagen von "all-solid-state"-Lasersystemen im
kontinuierlichen und gepulsten Betrieb, Schwerpunkte Faser- und Wellenleiterlaser; Physik der Wechselwirkung zwischen Licht und Materie)
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