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Ausstattung
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3 Feststoffquellen-Molekularstrahl-Epitaxieanlagen für SiC/Si und GaAs/AlAs/InGaAs
2 Ultrahochvakuum-Oberflächenanalyseanlagen mit Präparationskammern für: AUGERElektronenspektroskopie,
Photoelektronenspektroskopie (XPS/ESCA, UPS), Elektronenbeugung,
Elektronenchanneling, Rastertunnelmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie
Tieftemperatur-Photolumineszenzmessplatz mit mehreren Laserlichtquellen
Rasterkraftmikroskop
Prozessstrecke zur Herstellung von Laserdioden
Messplatz zur Charakterisierung von Laserdioden
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Stichworte
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Schichten * Molekularstrahlepitaxie * Schichtanalyse * Oberflächenanalyse * Laserdioden * Sättigbare Absorberspiegel * Elektronenspektroskopie * Beschichtung * Halbleiter * LED
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Kooperation
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Bestimmung der Zusammensetzung, Morphologie und Bindungsverhältnisse von Schichten und Oberflächen mittels oberflächenanalytischer Methoden
Untersuchung von Oberflächenstrukturen mittels Rasterkraftmikroskopie und Rastertunnelmikroskopie
Abscheidung epitaktischer Schichten aus Halbleitermaterialien wie beispielsweise Si, SiC, Ge, GaAs, AlAs und InGaAs
Entwicklung optoelektronischer Halbleiterbauelemente auf der Grundlage der Materialien GaAs, AlGaAs und InGaAs
Herstellung spezieller Laserdioden
Abscheidung und Messung optischer Schichten
Präparation und Charakterisierung von Substratoberflächen
Photolumineszenzmessungen von Materialien in Abhängigkeit von der Temperatur
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Forschungstätigkeit
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Molekularstrahlepitaxie von Halbleiter-Verbindungen aus GaAs, AlGaAs und InGaAs
Molekularstrahlepitaxie von Halbleiter-Schichtsystemen für die Optoelektronik, wie Laserdioden und sättigbare Absorberspiegel
Untersuchungen von Schichtbildungsprozessen bei der Homo- und Hetero-Epitaxie - Substrat- Oberflächenbehandlung von Halbleitern
Oberflächen- und Schichtanalyse mittels Elektronenspektroskopie (Auger- und Photoelektronenspektroskopie), Elektronenbeugung, Rasterkraftmikroskopie, Rastertunnelmikroskopie und Elektronenmikroskopie
Untersuchungen der elektronischen Eigenschaften von Halbleiter-Nanostrukturen mittels Rastertunnelmikroskopie
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