ONLINE: Vakuum- und Dünnschichtphysik - Einzelansicht

W. Pupp, H. K. Hartmann, `Vakuumtechnik, Grundlagen und An-wendungenA, Hanser-Verlag, München, 1991.
C. Edelmann, `VakuumphysikA, Spektrum, Berlin, 1998.
R. Haefer, `Oberflächen-und Dünnschicht-TechnologieA, Sprin-ger, Berlin, 1987.
J.E. Mahan, `Physical vapor deposition of thin filmsA, John Wiley, New York, 2000.
J.A. Venables, `Introduction to surface and thin film processesA, Cambridge University Press, Cambridge, 2000.

mündliche Prüfung 30 min

- Grundlagen der Vakuumphysik und deren Anwendung in Beschichtungsanlagen
- Übersicht der Dünnschichtabscheidungsverfahren
- Physik der Schichtbildungsprozesse und des Schicht-wachstums
- Struktur-Eigenschaftsbeziehungen und mechanische Ei-genschaften

Wahlpflichtmodul Diplom Physik, Bachelor Physik, Master Physik, Lehramt, Bachelor Werkstoffwissenschaften, Master Werkstoff-wissenschaften