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Vakuum- und Dünnschichtphysik - Einzelansicht

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Grunddaten
Veranstaltungsart Vorlesung Langtext
Veranstaltungsnummer 89936 Kurztext
Semester WS 2019 SWS 2
Teilnehmer 1. Platzvergabe 25 Max. Teilnehmer 2. Platzvergabe 30
Rhythmus Jedes 2. Semester Studienjahr
Credits für IB und SPZ
E-Learning-Plattform
Hyperlink
Sprache Deutsch
Belegungsfrist Zur Zeit keine Belegung möglich
Abmeldefristen
Nach Zulassung ist eine Abmeldung nur durch den Dozenten möglich.

Nach Zulassung ist eine Abmeldung auch durch den Teilnehmer möglich.

Nach Zulassung ist eine Abmeldung nur durch den Dozenten möglich.
Termine Gruppe: 0-Gruppe iCalendar Export für Outlook
  Tag Zeit Rhythmus Dauer Raum Lehrperson (Zuständigkeit) Status Bemerkung fällt aus am Max. Teilnehmer 2. Platzvergabe
Einzeltermine ausblenden Mi. 08:00 bis 10:00 w. 16.10.2019 bis
05.02.2020
Max-Wien-Platz 1 - SR 3 Physik      
Einzeltermine:
  • 16.10.2019
  • 23.10.2019
  • 30.10.2019
  • 06.11.2019
  • 13.11.2019
  • 20.11.2019
  • 27.11.2019
  • 04.12.2019
  • 11.12.2019
  • 18.12.2019
  • 08.01.2020
  • 15.01.2020
  • 22.01.2020
  • 29.01.2020
  • 05.02.2020
Gruppe 0-Gruppe:



Zugeordnete Person
Zugeordnete Person Zuständigkeit
Szeghalmi, Adriana Viorica verantwortlich
Zuordnung zu Einrichtungen
Physikalisch-Astronomische Fakultät
Inhalt
Literatur

W. Pupp, H. K. Hartmann, `Vakuumtechnik, Grundlagen und An-wendungenA, Hanser-Verlag, München, 1991.
C. Edelmann, `VakuumphysikA, Spektrum, Berlin, 1998.
R. Haefer, `Oberflächen-und Dünnschicht-TechnologieA, Sprin-ger, Berlin, 1987.
J.E. Mahan, `Physical vapor deposition of thin filmsA, John Wiley, New York, 2000.
J.A. Venables, `Introduction to surface and thin film processesA, Cambridge University Press, Cambridge, 2000.

Leistungsnachweis

mündliche Prüfung 30 min

Lerninhalte

- Grundlagen der Vakuumphysik und deren Anwendung in Beschichtungsanlagen
- Übersicht der Dünnschichtabscheidungsverfahren
- Physik der Schichtbildungsprozesse und des Schicht-wachstums
- Struktur-Eigenschaftsbeziehungen und mechanische Ei-genschaften

Zielgruppe

Wahlpflichtmodul Diplom Physik, Bachelor Physik, Master Physik, Lehramt, Bachelor Werkstoffwissenschaften, Master Werkstoff-wissenschaften

Strukturbaum
Keine Einordnung ins Vorlesungsverzeichnis vorhanden. Veranstaltung ist aus dem Semester WS 2019 , Aktuelles Semester: WiSe 2020/21

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