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Modulkataloge

Name des Moduls [117200] Micro/Nanotechnology Modulcode PAFMO220

Studiengang [128] Physik ECTS Punkte 4 LP

Arbeitsaufwand für Selbststudium 75 Stunden Häufigkeit des Angebotes (Modulturnus) jedes 2. Semester (ab Sommersemester)
Arbeitsaufwand in Präsenzstunden 45 Stunden Dauer des Moduls 1 Semester
Arbeitsaufwand Summe (Workload) 120 Stunden    

Modulverantwortlicher

Apl. Prof. Uwe Zeitner

Voraussetzungen für die Vergabe von Leistungspunkten

schriftliche Prüfung (100%)

Unterrichtssprache

Englisch

Voraussetzungen für die Zulassung zum Modul

Keine

Art des Moduls

Wahlpflichtmodul M.Sc. Physik in der Vertiefung „Optik“

Wahlpflichtmodul M.Sc. Photonics

Zusammensetzung des Moduls / Lehrformen

Vorlesung: 2 SWS

Übung: 1 SWS

Inhalte
  • demands of micro- and nano-optics on fabrication technology
  • basic optical effects of micro- and nano-structures and their description
  • typical structure geometries in micro- and nano-optics
  • coating technologies
  • lithography (photo-, laser-, electron-beam) and its basic physical principles
  • sputtering and dry etching
  • special technologies (melting, reflow, …)
  • applications and examples
Lern- und Qualifikationsziele

In this course the student will learn about the fundamental fabrication technologies which are used in microoptics and nanooptics. This includes an overview of the physical principles of the different lithography techniques, thin film coating and etching technologies. After successful completion of the course the students should have a good overview and understanding of the common technologies used for the fabrication of optical micro- and nano-structures. They know their capabilities and limitations.




PAFMO220 ... Micro/Nanotechnology Modulhandbuch


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