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Name des Moduls [117200] Micro/Nanotechnology Bezeichnung des Moduls PAFMO220

Studiengang [128] - Physik ECTS Punkte 4

Arbeitsaufwand für Selbststudium 75 Häufigkeit des Angebotes (Modulturnus) jedes 2. Semester (ab Sommersemester)
Arbeitsaufwand in Präsenzstunden 45 Dauer des Moduls 1
Arbeitsaufwand Summe (Workload) 120    

Modul-Verantwortliche/r

Prof. Dr. Andreas Tünnermann
Voraussetzung für die Vergabe von Leistungspunkten (Prüfungsform)

schriftliche Prüfung (100%)
Unterrichtssprache

Englisch
Voraussetzung für die Zulassung zum Modul

Keine
Art des Moduls (Pflicht-, Wahlpflicht- oder Wahlmodul)

128 M.Sc. Physik Vertiefung „Optik”: Wahlpflichtmodul

628 M.Sc. Photonics: Wahlpflichtmodul
Zusammensetzung des Moduls / Lehrformen (V, Ü, S, Praktikum, …)

Vorlesung: 2 SWS

Übung: 1 SWS
Inhalte
  • demands of micro- and nano-optics on fabrication technology
  • basic optical effects of micro- and nano-structures and their description
  • typical structure geometries in micro- and nano-optics
  • coating technologies
  • lithography (photo-, laser-, electron-beam) and its basic physical principles
  • sputtering and dry etching
  • special technologies (melting, reflow, …)
  • applications and examples
Lern- und Qualifikationsziele

In this course the student will learn about the fundamental fabrication technologies which are used in microoptics and nanooptics. This includes an overview of the physical principles of the different lithography techniques, thin film coating and etching technologies. After successful completion of the course the students should have a good overview and understanding of the common technologies used for the fabrication of optical micro- and nano-structures. They know their capabilities and limitations.

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