Literatur |
W. Pupp, H. K. Hartmann, `Vakuumtechnik, Grundlagen und An-wendungenA, Hanser-Verlag, München, 1991. C. Edelmann, `VakuumphysikA, Spektrum, Berlin, 1998. R. Haefer, `Oberflächen-und Dünnschicht-TechnologieA, Sprin-ger, Berlin, 1987. J.E. Mahan, `Physical vapor deposition of thin filmsA, John Wiley, New York, 2000. J.A. Venables, `Introduction to surface and thin film processesA, Cambridge University Press, Cambridge, 2000. |
Zielgruppe |
Wahlpflichtmodul Diplom Physik, Bachelor Physik, Master Physik, Lehramt, Bachelor Werkstoffwissenschaften, Master Werkstoff-wissenschaften |